等离子三靶溅射仪
· 2022-12-29
| 申购单主题： | 等离子三靶溅射仪 | 申购单位： | 微电子科学与技术学院 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 |
| 等离子三靶溅射仪 | 沈阳科晶 | GSL-1100X-SPC-16-3 | 1 | 国内含税价/人民币 |
| 售后服务 | 质保期内免费提供售后服务，质保期满收材料成本； 每年一次免费安全检测维护，终身提供技术服务。 | |||
| 规格 | 1、靶直径：Ø45mm；2、真空室：Ø160mm×120mm；3、真空度：≤4×10-2mbar；4、靶位：3个；5、max电流：50mA；6、可设定极限时间：900s；7、微型真空气阀：连接Ø3mm软管；8、极限电压：1600V DC；9、机械泵：2L/s；10、金靶材：直径45mm，厚度0.5mm；铬靶材：直径45mm，厚度0.5mm 。 | |||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | ||
| 广东途胜科技有限公司 | 45000 | 最低价原则 |
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